微纳中心是进行微米和纳米级别的技术研究和产品开发的平台,提供微纳结构光电器件研究、微纳电子、传感器、光电子器件、功率芯片、生物芯片等众多领域的研发服务,推动微纳技术在医疗、通信、能源、国防等领域的应用。
微纳中心已完成一期采购,用于搭建微纳平台的基础设施。未来一段时期计划采购步进光刻机、双腔体感应耦合等离子体刻蚀机、二次离子质谱、等离子体增强原子层沉积等先进科研仪器,用于微电子加工设备、集成电路测试设备等能够进行集成电路设计和制造,解决芯片制造、新型器件开发等问题。